外延片是在抛光片基础上,通过化学气相沉积方法在硅片表面生长一层外延硅单晶薄膜的硅片产品。外延片能实现不同于抛光片的优良近表面特性,满足不同客户对硅片的定制化需求。根据抛光片衬底中掺杂剂浓度的不同,外延片可分为P/P-、P/P+和N/N++等类型。
奕斯伟材料生产的12英寸电子级外延片具有优良的电阻率和厚度均匀性,广泛应用于逻辑、图像传感器、显示驱动、功率器件等芯片的制造。
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